【摘 要】
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<正> 一、前言计量圆光栅是一种角度基准元件,多数都是在对径读取莫尔信号的情况下使用。对径读数的优点很多,它的良好的消差效果前人早有探讨。以Graham为典型代表,普遍的看
【机 构】
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重庆大学光电精密机械研究所; 重庆大学光电精密机械研究所;
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<正> 一、前言计量圆光栅是一种角度基准元件,多数都是在对径读取莫尔信号的情况下使用。对径读数的优点很多,它的良好的消差效果前人早有探讨。以Graham为典型代表,普遍的看法是:对径读数可以完全消除圆光栅分度误差中的奇次误差谐量的影响。因此,也消除了偏心误差。事实上,这一结论是在忽略了圆光栅不均匀性的影响后得到的,同实际情况并不相符。二、精度特性的分析本文将在不存在其它误差的理想情况下着重讨论偏心等奇次误差谐量对精度的影响。圆光栅不存在误差时,读数头输出的标准莫尔信号的一般表达式为:
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