激光激发声表面波检测表面缺陷深度的研究

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本文对激光激发瑞利波检测结构表面缺陷深度的三种机制进行总结,并系统研究这三种机制下瑞利波在表面缺陷处发生声波反射与模式转换过程,为激光声表面波技术检测表面缺陷提供有效的理论依据。
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