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基于金刚石线锯切割系统,开展了金刚线电解磨削切割多晶硅片试验。结果表明：电解磨削复合加工方法在机械磨削的同时复合了阳极氧化和腐蚀,在硅片表面产生了机械损伤缺陷和电化学腐蚀缺陷。酸制绒时腐蚀反应在两种类型缺陷处顺利进行,形成均匀致密的绒面结构,有效降低硅片表面反射率,有利于后续电池片光电转换效率的提高。