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介绍了氢氧合成成氧化工艺的优越性，基本机理，以及如何根据工艺要求，硅片的几何尺寸，采用相应的氢氧合成氧化方式及安全保护措施。
氢氧合成氧化的部件设计
【摘 要】
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介绍了氢氧合成成氧化工艺的优越性，基本机理，以及如何根据工艺要求，硅片的几何尺寸，采用相应的氢氧合成氧化方式及安全保护措施。
【机 构】
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电子工业部第48研究所
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1999年2期
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