【摘 要】
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为了降低大直径硅单晶生长过程中氧的引入,对常规的406mm(16英寸)热场进行了改造。设计了以矮加热器为核心的复合式加热器系统,使晶体生长过程中熔体热对流减小。通过对热场的数
【机 构】
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河北工业大学半导体材料研究所,300130
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目!(6 9876 0 11)
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为了降低大直径硅单晶生长过程中氧的引入,对常规的406mm(16英寸)热场进行了改造。设计了以矮加热器为核心的复合式加热器系统,使晶体生长过程中熔体热对流减小。通过对热场的数值模拟计算,分析了热场的温度分布,发现熔体的纵向温度梯度下降,熔体热对流减小,硅单晶中氧含量降低。
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