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用过滤法对废料液中的C10号切割润滑油进行分离，再对分离出的油液进行分馏提纯，C10号润滑油回收率可达到72．6％。过滤分离油后的锗和碳化硅粉的残渣经灼烧后，在NaOH溶液中用过氧化氢进行氧化溶解锗，使其进入溶液，然后过滤分离出溶液中不溶解的碳化硅粉，进行加热洗涤净化后得到纯净的碳化硅粉，碳化硅粉的回收率可达到95．6％。对富含锗的溶解滤液进行蒸发浓缩水分后，用盐酸蒸馏得到GeCl4，锗回收率可达到98％以上。