脉冲激光气相沉积法制备的非晶CH薄膜特性分析

来源 :强激光与粒子束 | 被引量 : 0次 | 上传用户:passionzy
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
采用脉冲激光气相沉积(PLD)法,研究了氢气压强对非晶CH薄膜性能的影响。原子力显微镜图和白光干涉图显示,薄膜表面平整致密,随着氢气压强增大,粗糙度变大。拉曼光谱分析表明,氢气压强增加,G峰和D峰位置都在向高波数方向移动。傅里叶变换红外光谱分析显示,薄膜中存在sp3—CH2和sp2—CH等基团。最后,采用PLD漂浮法在最优参数氢气压强为0.3 Pa下,成功制备了不同厚度(100-300 nm)、满足一定力学强度、无明显宏观缺陷的自支撑CH薄膜。
其他文献
三峡工程是治理和开发长江的关键性骨干工程 ,建设过程中尽量采用了大量工程测绘和监控新技术。在简述三峡工程测控工作实施和监控体系的基础上 ,较详细地介绍了工程采用的测
概述了为开展Z箍缩实验物理研究而建立的一些诊断技术和方法。这些诊断技术已成功应用于"阳"加速器(负载电流1.2 MA,上升时间85 ns)喷气和丝阵Z箍缩物理研究中,其中软X光8通道Dan
2009年12月4日,中国科学院2009年院士增选结果发布,本刊编委刘国治当选为中国科学院院士。刘国治,研究员,高功率微波专家,司令员,1960年11月生于辽宁锦县,1983年毕业于清华大学工程
Objective To retrospectively assess the primary clinical results of a cohort of the first metatarsophalangeal joint replacement with double-stemmed hinge silico
本刊讯日前,工信部发布了《高耗能落后机电设备(产品)淘汰目录(第三批)》。目录所列为不符合有关法律法规及标准规定,需要淘汰的高耗能落后机电设备(产品)。目录共2大类337项设备(产品
本刊讯位于西三旗老建材工业基地的中关村西三旗(金隅)科技园工程的地上建筑物拆除工作已经启动。其中,原北京砖厂的一座京城最老轮窑将作为建材基地遗址留存,并初步规划在内部
本刊讯 日前,德清县下发《关于实施德清县农户自建房应用新型墙体材料补助的通知》,明确农户自建房应用新型墙材可申请补助,最高单户补助可达1万元。通知中对补助条件、补助办法
本刊讯工程建设国家标准《公共建筑节能设计标准》GB50189-2015已于2015年2月批准发布,自2015年10月1日起实施。原《公共建筑节能设计标准》GB50189-2005同时废止。与原标准
日前,财政部、工信部、科技部、商务部联合联发布《中小企业发展专项资金管理暂行办法》,启动整合多项中小企业专项资金,以更好地提高财政资金使用效益,促进中小企业发展。今后中