体波谐振晶片加速度灵敏度的测定

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本文叙述了测定直接工作在微波频率的高次泛音钇铝石榴石(YAG)体波谐振晶片的加速度灵敏度的近似理论。高次泛音声体波谐振器比用其它方法更容易实现低相位噪声倍频微波源,所需硬件也少得多。在参考文献[1]中详细介绍了振荡器的设计及测试。本文通过分析及实验对振动灵敏度作了论述。在静态和振动状两种状态下,对钇铝石榴石(YAG)体波谐振器件进行了电测量。将约为4×10~(-11)/G的加速度灵敏度的计算值(K)与约为1.28×10~(-11)/G的测试值进行了比较。体波谐振的实测值约比典型的三类AT切石英晶体对运动的灵敏度要低两个数级量。 This paper describes an approximate theory for determining the acceleration sensitivity of high-order overtones yttrium aluminum garnet (YAG) bulk wave resonators operating directly at microwave frequencies. High-order harmonic wave body wave resonators are much easier to implement than low-phase-noise multiplier microwave sources than any other method, requiring much less hardware. The oscillator design and testing are described in detail in reference [1]. In this paper, the vibration sensitivity is analyzed through analysis and experiment. In both static and vibrational states, YAG bulk acoustic resonators were electrically measured. A calculated value of acceleration sensitivity (K) of about 4 × 10 ~ (-11) / G is compared with a test value of about 1.28 × 10 ~ (-11) / G. The measured values ​​of body-wave resonance are approximately two orders of magnitude lower than the sensitivity of a typical three-cut AT cut quartz crystal to motion.
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