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本文采用不同种真空蒸发方法在玻璃衬底表面制备出ZnO薄膜。通过X射线衍射、光学透射谱的表征方法对制备的样品进行了表征,比较分析了不同制备法制备出的ZnO薄膜的质量差异。结果表明分步氧化方法制备的薄膜,可获得高度c轴取向、表面平整度好、透光率较高的ZnO薄膜。
真空蒸发法制备ZnO薄膜的研究
【摘 要】
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本文采用不同种真空蒸发方法在玻璃衬底表面制备出ZnO薄膜。通过X射线衍射、光学透射谱的表征方法对制备的样品进行了表征,比较分析了不同制备法制备出的ZnO薄膜的质量差异。
【机 构】
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大连东软信息学院
【出 处】
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信息记录材料
【发表日期】
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2018年3期
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