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针对微腔放电（MCD）装置，采用光学发射光谱的方法，通过在氩气中添加少量氮气，分析氮分子第一正带系和氮分子离子第一负带系测量了MCD中的气体温度。实验研究和理论分析表明，氮分子第一正带系测量的气体温度客观正确，而氮分子离子第一负带系测量的气体温度明显偏高，其原因是由于碰撞淬灭效应，Nj（B2）态的有效寿命与转动松弛时间相近，致使转动松弛不完全，转动能级的分布不是平衡态分布，因此所测量的转动温度不能合理体现气体温度。故采用光谱诊断法测量高气压下微等离子体气体温度时，利用氮分子第一正带系更准确合理。