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陶瓷激光精密打孔工艺研究

来源 :激光与红外 | 被引量 : 0次 | 上传用户：abdusamat128

【摘 要】

：

用脉冲Nd:YAG激光对氧化铝(AL2O3)陶瓷基片进行了激光打孔试验,分析了激光能量、激光脉宽、脉冲频率、离焦量等工艺参数对成孔质量的影响.

【作 者】

：

张银江 方鸣岗 

【机 构】

：

华北光电技术研究所

【出 处】

：

激光与红外

【发表日期】

：

2001年3期

【关键词】

：

脉冲ND:YAG激光 陶瓷 激光打孔 氧化铝 pulse Nd∶YAG laser  AL2O3ceramic  laser drilling. 

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用脉冲Nd:YAG激光对氧化铝(AL2O3)陶瓷基片进行了激光打孔试验,分析了激光能量、激光脉宽、脉冲频率、离焦量等工艺参数对成孔质量的影响.

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