【摘 要】
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金属掺杂类金刚石纳米复合薄膜（Me—DLC膜）具有诸多优异的力学、摩擦学、电学和生物学特性，尤其因其在降低残余应力方面的显著功效，近年来成为新型碳功能材料领域的研究热点和重
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金属掺杂类金刚石纳米复合薄膜（Me—DLC膜）具有诸多优异的力学、摩擦学、电学和生物学特性，尤其因其在降低残余应力方面的显著功效，近年来成为新型碳功能材料领域的研究热点和重要分支。主要综述了Me—DLC膜的常用制备技术，对金属掺杂导致类金刚石（DLC）薄膜的组分、结构和性能的变化规律进行了分析，阐述了金属掺杂导致的薄膜微结构演化与硬度、摩擦因数和残余应力之间的作用关系，最后提出了发展Me—DLC纳米复合薄膜的一些关键研究问题。
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