论文部分内容阅读
本文介绍了改良西门子法多晶硅生产中的硅芯制备技术,包括区熔法硅芯制备技术和切割法硅芯制备技术。简要介绍了两种硅芯制备技术的工艺流程,并对两种不同技术路线制备硅芯过程中的杂质分凝、挥发及坩埚污染进行了比较。根据分析结果,采用区熔硅芯能在一定程度上降低硅芯对硅棒的杂质贡献。
硅芯制备技术及对沉积多晶硅棒杂质的影响
【摘 要】
：
本文介绍了改良西门子法多晶硅生产中的硅芯制备技术,包括区熔法硅芯制备技术和切割法硅芯制备技术。简要介绍了两种硅芯制备技术的工艺流程,并对两种不同技术路线制备硅芯过
【机 构】
：
昆明理工大学材料科学与工程学院,昆明冶研新材料股份有限公司,云南省光电子硅材料制备技术企业重点实验室
【出 处】
：
材料科学与工程学报
【发表日期】
：
2016年3期
【基金项目】
：
云南省科技厅省院省校科技合作专项资助项目（2014IB003）
其他文献
解热止痛药、麻醉性镇痛药、镇静催眠药这三大类药物最容易让人上瘾。 解热止痛药家家都要使用，也是常见容易成瘾的药物，如家喻户晓的去痛片（索密痛）、复方阿司匹林（APC）等。病人开始确实为了退热止痛，由于较灵验，便经常使用。时间稍长，就能体验到这类药能兴奋精神，消除疲劳，同时有一种莫名的舒适感。人们一旦断药，则表现为萎靡不振，周身不适，疲惫无力，甚至不能劳动。这类药物一般用于治疗感冒，感冒一周左右即
在已有研究的基础上,提出了一个新的2.5维编织复合材料有限元模型,该模型较为真实地模拟了织物内纤维束的轮廓结构和走向,可用于2.5维编织复合材料力学性能的有限元数值分析.