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气-液-固法(VLS)是目前生长各种准一维纳米结构的主要工艺技术。本文首先介绍了VLS的生长原理,然后以生长机制为主线,着重评论了近3-5年内它在ZnO、GaN、Si以及SiC等纳米线及其阵列合成中应用的某些新进展。最后提出了改进VLS方法的几项措施,并展望了它的今后发展趋势。
气-液-固法在半导体纳米线生长中的应用
【摘 要】
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气-液-固法(VLS)是目前生长各种准一维纳米结构的主要工艺技术。本文首先介绍了VLS的生长原理,然后以生长机制为主线,着重评论了近3-5年内它在ZnO、GaN、Si以及SiC等纳米线及
【机 构】
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河北大学电子信息工程学院,中国科学院半导体研究所半导体材料科学重点实验室,日本东京理科大学物理系,中国科学院微电子学研究所纳米材料与纳米器件实验室
【出 处】
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功能材料与器件学报
【发表日期】
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2008年05期
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