c面白宝石衬底表面形貌对气相传输平衡法制备的γ-LiAlO2层质量的影响

来源 :人工晶体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liyang3d

【摘要】

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采用气相传输平衡(VTE)技术,在(0001)面白宝石衬底表面上成功地制备出单相γ-LiAlO2层.研究了白宝石衬底表面形貌对γ-LiAlO2层质量的影响,发现白宝石衬底的表面粗糙度和退火

【作者】

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彭观良李抒智庄漪邹军王银珍刘世良周国清周圣明

【机构】

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中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院研究生院

【出处】

：

人工晶体学报

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

白宝石 γ-LiAlO2 气相传输平衡 GaN 衬底 sapphire γ-LiAlO2 vapor transport equilibration (VTE)

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采用气相传输平衡(VTE)技术,在(0001)面白宝石衬底表面上成功地制备出单相γ-LiAlO2层.研究了白宝石衬底表面形貌对γ-LiAlO2层质量的影响,发现白宝石衬底的表面粗糙度和退火处理是两个影响γ-LiAlO2层质量的重要因素.要制备高质量的γ-LiAlO2层,适度的表面粗糙度是恰当的.对白宝石衬底进行退火处理,γ-LiAlO2层的择优取向变差.并对其中可能的机理进行了探讨.

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