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采用磁控溅射工艺制备了TbDyFe-FeNi多层膜/光纤复合结构,并搭建M-Z干涉仪磁场检测系统对复合结构的磁敏性能进行试验测试。实验结果表明,在调制磁场频率为复合结构的固有频率的条件下,系统对磁场信号感应强度最大;系统输出信号大小随调制磁场强度线性增加,添置恒定直流磁场后,系统响应信号大小明显增强。在0~48 kA/m的直流磁场范围内,干涉仪(传感臂有效长度为10 cm)信号响应灵敏度为6.05×10-5rad/(Hz.kA.m-1);当多层膜厚度增加到5μm时,干涉仪信号响应灵敏度变为6.07×