【摘 要】
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高精度定位平台通常以激光干涉仪为测量基准。根据测量原理，激光干涉仪的测量误差应为定位平台误差的1／3～1／2，这样才能保证测量结果的可信性。为此，对影响激光干涉仪测量精度的诸多
【机 构】
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上海工程技术大学机械工程学院,上海大学机电工程与自动化学院
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高精度定位平台通常以激光干涉仪为测量基准。根据测量原理，激光干涉仪的测量误差应为定位平台误差的1／3～1／2，这样才能保证测量结果的可信性。为此，对影响激光干涉仪测量精度的诸多因素作了分析，并在分析的基础上进行误差计算。计算结果表明，激光干涉测量系统的综合误差为12．3nm，满足定位平台的精度要求，二者在精度上能很好匹配。
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