【摘 要】
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在钢渗铬层表面用化学气相沉积（CVD）法制备了金刚石薄膜。使用扫描电镜（SEM）、透射电镜（TEM）和压痕法研究了金刚石膜的表面、界面结构及附着力。用拉曼光谱分析了金刚石膜的纯度及
【机 构】
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江门职业技术学院材料技术系,华南理工大学机械工程学院,广西大学机械工程学院
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在钢渗铬层表面用化学气相沉积（CVD）法制备了金刚石薄膜。使用扫描电镜（SEM）、透射电镜（TEM）和压痕法研究了金刚石膜的表面、界面结构及附着力。用拉曼光谱分析了金刚石膜的纯度及非金刚石碳相。甲烷含量超过0.6%（体积分数）后,金刚石膜为球形纳米晶,形核密度〉107cm-2。用甲烷含量为0.6%（体积分数）沉积的金刚石膜表面的残余压应力为1.22 GPa,而膜背面的残余压应力更高,达2.61 GPa。压痕显示在19.6 N载荷下膜发生开裂。TEM观察发现,膜/基界面为微观非平面,有利于提高金刚石膜的附着
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