碳化硅密封环端面微孔加工的研究

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对常见小孔加工方法进行了比较,通过选用脉冲振荡的YAG激光器,对59U-35型机械密封静环微孔加工工艺参数的确定,探讨了改变打孔孔径、打孔深度、提高小孔加工质量的方法。
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