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硅基单电子晶体管是一种极具潜力的新型量子器件。大多数硅基单电子晶体管的制备方法可以很好地与主流的CMOS工艺兼容。介绍了硅基单电子晶体管一些典型的具体制备工艺和方法以及该领域近年来的研究热点。
硅基单电子晶体管的制备
【摘 要】
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硅基单电子晶体管是一种极具潜力的新型量子器件。大多数硅基单电子晶体管的制备方法可以很好地与主流的CMOS工艺兼容。介绍了硅基单电子晶体管一些典型的具体制备工艺和方法
【机 构】
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中国科学院半导体研究所
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2006年2期
【基金项目】
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国家自然科学基金项目（60506017）,中国科学院半导体研究所所长基金资助项目（2005DF01）
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