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飞秒脉冲激光烧蚀靶材的研究发现,激光和靶材的相互作用不遵守傅立叶定律,热烧蚀模型不再适用。本文首先分析了研究超短脉冲激光烧蚀过程中电子和离子亚系统之间相互作用程度的双温模型,由此出发,结合飞秒脉冲激光的特点,探讨了非平衡烧蚀机理,并根据相应实验数据说明了飞秒激光烧蚀靶材的机制是非平衡态下的烧蚀。