硅微仿生矢量水声传感器研制

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：faxiwe88730

【摘要】

：

根据鱼类侧线听觉仿生学原理，设计出硅微仿生矢量水声传感器结构．该传感器结构包括高精度压阻式硅微换能单元结构和空芯光子晶体光纤柱体．讨论了水声传感器结构的仿生学原理和声

【作者】

：

谢斌薛晨阳张文栋熊继军张斌珍陈尚

【机构】

：

中北大学电子测试技术国家重点实验室

【出处】

：

传感技术学报

【发表日期】

：

2006年05B期

【关键词】

：

仿生学矢量水声传感器微机电器件 bionics vector hydrophone MEMS

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根据鱼类侧线听觉仿生学原理，设计出硅微仿生矢量水声传感器结构．该传感器结构包括高精度压阻式硅微换能单元结构和空芯光子晶体光纤柱体．讨论了水声传感器结构的仿生学原理和声学原理．用有限元软件Ansys分析传感器的应力分布，讨论了传感器的加工工艺，并采用气流静态加载法测试出传感器的矢量指向性图，测试结果表明，仿生水声传感微结构具有“8字型”矢量指向性．

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