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通过对掩模缺陷和激光特点的分析,提出用激光气化法修整掩模缺陷中多余铬缺陷的技术,对LMT型激光修版机进行了改进。给出了改造和更新的技术要点,在该机上进行了工艺实验,并对结果进行了分析,提出了改进激光修版技术的有关措施。实验表明:当物镜与待修模板之间的距离为1.604mm,激光泵浦灯管的预燃电压为300V时,可以达到最佳的修版效果。