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非晶铟镓锌氧化物半导体(a-IGZO)二极管广泛应用于光电子学领域,在柔性可穿戴应用领域有巨大优势,但仍然需要解决制备高性能器件和成本等问题。概括了a-IGZO二极管的工作原理和制造工艺,以及a-IGZO肖特基二极管的最新研究进展。最后讨论了器件制备工艺对IGZO二极管器件的影响。
基于非晶铟镓锌氧半导体肖特基二极管的研究
【摘 要】
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非晶铟镓锌氧化物半导体(a-IGZO)二极管广泛应用于光电子学领域,在柔性可穿戴应用领域有巨大优势,但仍然需要解决制备高性能器件和成本等问题。概括了a-IGZO二极管的工作原理
【机 构】
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中国科学院微电子研究所
【出 处】
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电子工艺技术
【发表日期】
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2020年3期
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期刊
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