【摘 要】
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介绍了一种低成本自适应的微机电系统（MEMS）陀螺温度补偿方法。基于自主研发的一款集成化硅MEMS振动陀螺,分析了陀螺温度漂移的原因。研究了降低MEMS陀螺温度误差的方法,设计了
【机 构】
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中国电子科技集团公司第十三研究所,
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介绍了一种低成本自适应的微机电系统（MEMS）陀螺温度补偿方法。基于自主研发的一款集成化硅MEMS振动陀螺,分析了陀螺温度漂移的原因。研究了降低MEMS陀螺温度误差的方法,设计了一种基于Atmega32单片机的低成本补偿电路,建立了陀螺温度补偿模型,提出了补偿方法。该方法通过变温法采集MEMS陀螺输出,对信号进行快速傅里叶变换（FFT）滤波处理,然后采用一种自适应算法,获取陀螺输出曲线的拐点。基于这些拐点,对MEMS陀螺全温区（-4060℃）零偏特性进行分段插值补偿,同时采用三点插值法对标度因数进行补偿。测试结果表明,陀螺全温区零偏稳定性由补偿前的1 116.5°/h提升到补偿后的21.9°/h,标度因数温度系数由补偿前的5.286×10-4/℃提升到补偿后的3.7×10-5/℃。
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