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阳极氧化法制备多孔硅中的正电子湮没及扫描电子显微镜研究
阳极氧化法制备多孔硅中的正电子湮没及扫描电子显微镜研究
来源 :核技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Jeanneyli
【摘 要】
:
用正电子湮没技术和扫描电子显微镜研究研究了阳极氧法法制备的多孔硅材料。正电以实验表明,随着阳极氧化时间的延长,平均寿命值增大,空位缺陷增多,长寿命成分较少。扫描电子显微
【作 者】
:
刘键
魏龙
【机 构】
:
中国科学院高能物理研究所核分析技术开放研究实验室
【出 处】
:
核技术
【发表日期】
:
2000年6期
【关键词】
:
正电子湮没
扫描电子显微镜
多孔硅
阳极氧化法
Positron annihilation
Scanning electron microscopy
Por
【基金项目】
:
中国科学院重点基金!19805010
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用正电子湮没技术和扫描电子显微镜研究研究了阳极氧法法制备的多孔硅材料。正电以实验表明,随着阳极氧化时间的延长,平均寿命值增大,空位缺陷增多,长寿命成分较少。扫描电子显微显示,在阳极氧化过程中有尺寸为几μm的单晶球形成。
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