自基准哈特曼波前测量装置的研制

来源 :光学技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hufei1984

【摘要】

：

采用自基准哈特曼径向斜率测量原理,设计了旋转加摩擦线性移动扫描机构,对被测波前进行连续极坐标扫描采样;用CCD相机采集光斑图像,经波面径向斜率计算和泽尼克径向斜率多项

【作者】

：

刘春阳朱秋东

【机构】

：

北京理工大学

【出处】

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光学技术

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

光学测量哈特曼检验径向斜率检验像质检验

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采用自基准哈特曼径向斜率测量原理,设计了旋转加摩擦线性移动扫描机构,对被测波前进行连续极坐标扫描采样;用CCD相机采集光斑图像,经波面径向斜率计算和泽尼克径向斜率多项式最小二乘拟合,求出被测波面的泽尼克系数和波前畸变值.与干涉仪测量结果进行了比较,所以研制的波前测量装置可满足大口径光学系统的像质测量.

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