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本文叙述了应用于可变矩形电子束曝光系统中的几种信号检测和处理技术以及在调试过程中的应用，简单介绍了系统工作时信号间的相互关系。
电子束曝光系统的信号检测与处理技术
【摘 要】
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本文叙述了应用于可变矩形电子束曝光系统中的几种信号检测和处理技术以及在调试过程中的应用，简单介绍了系统工作时信号间的相互关系。
【机 构】
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中国科学院电工研究所
【出 处】
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电工电能新技术
【发表日期】
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1995年4期
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