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GIS电器设备的灭弧和绝缘特性取决于SF6气体的纯度,而已有的检测SF6气体纯度的仪器都是采取在线抽取样气,离线标准测量的方式。现提出采用高稳定性、红外原理的传感器测量SF6气体纯度的在线监测系统。在简要介绍现有GIS监测技术的基础上,详细阐述了该系统的气路结构和硬件,并经传感器自动标定和检测试验验证了该装置具有较高的的准确性和可靠性。