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在分析讨论了网络分析仪数据处理过程的基础上，提出了线性内插算法，并用具有两种扫描方式的网络分析仪对算法进行验证。结果表明：通过线性内插算法，两种扫描方式得到的5参数测量值之间的差值与定制频率扫描方式下测量值的标准偏差相近，因此能较好地解决频率点不一致带来的问题；此外，也为分析相位测量数据异常提供了有力的工具。