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针对当前太赫兹时域信号分析还未形成统一的标准,本文提出一种时域信号参数提取流程,并运用该流程分析了单层硅样品的透射信号,结果显示运用该流程能准确从信号中提取样品参数。并且基于Matlab-GUI,开发出能有效分析单层和双层样品的透射型THz时域信号和单层样品的反射型THz时域信号的THz信号分析系统,该系统具有可独立运行、功能多样、操作简单、一定的防错能力等特点,具有很强的实用价值。