反应动力学理论和N型金属氧化物点缺陷的统计分布*

来源 :山东工业大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chenziling
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提出了用反应动力学理论来研究半导体点缺陷的统计分布的理论.给出了N型半导体施主分布的Fermi公式,N型金属氧化物氧空位Vo+,Vo+,Vo++的浓度公式和吸附氧负离子浓度[O2],[O]的公式.提出一种用来研究有两次电离过程的N型金属氧化物Fermi能级变化范围的方法,给出Ed2-kTln2<EF<Ed1-kTlngd1的结果.讨论了在气敏晶体表面O-的产生问题,给出O-不可能在完整晶体表面产生的结论.
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