低压膜过滤技术在半导体领域的应用

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日本三洋电机自行开发的以低压膜过滤技术为基础的半导体制造用排水处理技术正在加强开拓。集团公司的三洋水技术,除了硅类排水处理系统和化学机械研磨排水处理系统工业化外.氢氟酸排液处理系统也开始市场销售。
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