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低压膜过滤技术在半导体领域的应用
低压膜过滤技术在半导体领域的应用
来源 :工业水处理 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yanwensen
【摘 要】
:
日本三洋电机自行开发的以低压膜过滤技术为基础的半导体制造用排水处理技术正在加强开拓。集团公司的三洋水技术,除了硅类排水处理系统和化学机械研磨排水处理系统工业化外.氢
【出 处】
:
工业水处理
【发表日期】
:
2007年1期
【关键词】
:
膜过滤技术
半导体制造
低压
排水处理系统
日本三洋电机
水处理技术
应用
化学机械研磨
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日本三洋电机自行开发的以低压膜过滤技术为基础的半导体制造用排水处理技术正在加强开拓。集团公司的三洋水技术,除了硅类排水处理系统和化学机械研磨排水处理系统工业化外.氢氟酸排液处理系统也开始市场销售。
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