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采用脉冲激光沉积技术制备出了Ag掺杂的ZnO薄膜。研究了Ag含量、衬底温度及氧压对ZnO结构和光学性能的影响。结果表明：Ag以替位形式存在于ZnO晶格中，Ag掺杂浓度较低时，样品具有高度C轴择优取向。衬底温度越高，薄膜的结晶质量越好，光学带隙越接近纯ZnO的带隙，而其紫外荧光峰在衬底温度为300℃时最强。氧压为10Pa时，薄膜的结晶质量最好，紫外峰最强，其带隙则随氧压的增大呈先变窄后加宽的趋势。