MEMS微传感器件IP库的建立方法

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【摘要】

：

为实现MEMS器件系统级的模拟,运用等效电路宏模型的方法建立相应的IP模型库单元.本文以悬臂梁结构的微传感器为例,描述了如何根据基本结构与数学方程建立等效电路宏模型,并采

【作者】

：

殷刚毅

【机构】

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东南大学微电子中心

【出处】

：

电子器件

【发表日期】

：

2005年3期

【关键词】

：

等效电路宏模型系统级 SPICE IP库 macromodel of equivalent circuit system level SPICE IP

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为实现MEMS器件系统级的模拟,运用等效电路宏模型的方法建立相应的IP模型库单元.本文以悬臂梁结构的微传感器为例,描述了如何根据基本结构与数学方程建立等效电路宏模型,并采用COVENTORWARE软件进行了模型的各个模态的谐振频率和相关曲线的验证,最后通过我们自行开发的IP库单元建立接口软件对单元进行了封装与入库.

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