常压化学气相沉积方法制备非晶硅薄膜及其光致发光性能研究

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：huishou2088

【摘要】

：

使用改进的常压化学气相沉积(APCVD)系统制备了非晶硅薄膜,测量了样品的光致发光特性,使用Raman光谱和X射线光电子能谱(XPS)谱测量了薄膜的微结构特征.样品在523 nm出现发光

【作者】

：

刘涌肖瑛沃银花宋晨路韩高荣

【机构】

：

浙江大学材料系硅材料国家重点实验室

【出处】

：

真空科学与技术学报

【发表日期】

：

2004年6期

【关键词】

：

非晶硅薄膜 RAMAN光谱光致发光特性 XPS谱 X射线光电子能谱(XPS) 发光峰纳米晶粒性能研究化学气相沉积薄膜结构 Photoluminesce

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

使用改进的常压化学气相沉积(APCVD)系统制备了非晶硅薄膜,测量了样品的光致发光特性,使用Raman光谱和X射线光电子能谱(XPS)谱测量了薄膜的微结构特征.样品在523 nm出现发光峰,Raman光谱和XPS谱表明制备的薄膜结构中存在富氧相和富硅相的分相现象,分析认为相界面的存在是产生发光的原因.Raman光谱分峰结果表明薄膜中存在纳米晶粒.

其他文献

漫谈物业保安员

自从我踏入物业管理行业的第一天起，就开始接触形形色色的人物，这里最重要的，就是同保安所结下的不解之缘，有小区的，有大厦的，有办公楼的传达，也有后勤机关的门卫，有平民百姓、微福利

期刊

物业保安物业管理行业高档别墅福利公寓住宅百姓大厦代表机关治安

薄膜溅射沉积过程中的原子喷丸效应

原子喷丸效应是薄膜溅射沉积过程中的普遍现象，是指反弹工作气体原子和溅射原子构成的荷能粒子流对生长膜面的轰击作用，这些荷能粒子在向基片运输的过程中受到工作气体原子的散

期刊

薄膜溅射应力Thin film Sputtering Stress

新城疫病毒分子生物学特性及检测方法的研究进展

新城疫（ND）是一种鸡和火鸡急性、烈性、高度接触性疾病，由新城疫病毒（NDV）引起，死亡率可达100％，给养禽业带来了严重经济危害，被世界动物卫生组织（OIE）列为必须通报的动物疫病。在我国，新

期刊

新城疫病毒检测方法结构蛋白newcastle disease virus detection method structural protein

联用姜蛭汤和复方丹参注射液早期治疗急性脑出血41例

我院于1988年就开始进行早期运用活血化瘀法治疗急性脑出血的尝试，于1993年以来运用姜蛭汤和复方丹参注射液治疗急性脑出血41例，疗效满意，现总结报道如下。

期刊

姜蛭汤复方丹参注射液急性脑出血中医药疗法

离子镀膜中的弧电流对膜层质量的影响

论述了电弧电流对多弧离子镀膜层的硬度，厚度及其外观形貌的影响，并进一步阐述了电弧电流在实际应用中的作用，说明了镀制不同功能的膜层，应选择不同弧电流的重要性。

期刊

电弧电流硬度膜厚粗糙度离子镀膜Arc currentHardnessFilm thicknessRoughness

《重庆市物业管理条例》请市民斟酌

近日，重庆市人大法制委正式将《重庆市物业管理条例》(草案)公之于众，广泛征求市民建议。

期刊

物业管理条例市民重庆法制草案人大

新中国第一个保安今何在？

1984年12月18日，蛇口保安服务公司诞生。当时是由蛇口公安分局内保科长张中方带领几名政法干部，招了3名保安员，租了一间铁皮房，土法上马干起来的。同年12月20日，胡宏荣到第一家签

期刊

保安员新中国公安分局保安服务干部诞生单位签约公司餐厅

新型自复式过电流保护器件

采用将形状记忆合金材料过热发生形状突变和正温度系数材料自动恒温的特性相结合的原理，研制了一种新型自复式保护器件。该保护器件具有可重复使用，导通电阻值低，限流动作速度快

期刊

自复式保护器件形状记忆合金过电流保护器件Resettable protectorSMAPTC

广州市福利房物业管理可以聘请物业管理公司

今年3月，广州市人大代表在市十一届人大五次会议上提议，政府有关部门应尽早拿出一个关于福利房物业管理的办法。日前，广州市国土资源与房屋管理局对这一建议正式作出答复，认为福

期刊

福利物业管理公司国土资源广州市部门房屋管理局政府人大代表办法会议

缺血性视乳头病变证治3例

笔者运用辨证与辩病相结合的方法,治疗缺血性视乳头病变,取得了满意疗效,现报告三例.案1:男,63岁,因左眼视突然下降16天,于99年3月8日入院.患者于16天前早晨起床后,突觉视物

期刊

视乳头病缺血性中医药疗法验案

常压化学气相沉积方法制备非晶硅薄膜及其光致发光性能研究

与本文相关的学术论文