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简述了研究膜层光学薄膜参数测量方法的必要性。详细介绍了各种测量方法的理论思想、测量准确度、测量范围。综合比较了各种测量方法的优缺点和适用性，研究了测量不同类型薄膜系统膜层光学薄膜参数的最佳测量方法。最后总结了膜层光学薄膜参数测量方法的发展，并提出了建议。
膜层的光学薄膜参数测量方法研究
【摘 要】
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简述了研究膜层光学薄膜参数测量方法的必要性。详细介绍了各种测量方法的理论思想、测量准确度、测量范围。综合比较了各种测量方法的优缺点和适用性，研究了测量不同类型薄膜
【机 构】
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兰州空间技术物理研究所表面工程技术重点实验室
【出 处】
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真空与低温
【发表日期】
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2013年4期
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