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随着半导体芯片、太阳能光伏、液晶面板产业的发展,生产使用的特殊气体种类不断增加,气体供应系统愈发复杂。特殊气体已经成为工厂内危险系数最高的因子,在这里我们根据特气不同的物理、化学性质进行了分类和讨论,进而对特种气体供应系统的规划、设计、设备选型及其安全管理进行了阐述,并且工厂内有着重要作用的气柜设计进行了探讨。