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为改善背照式像素电学串扰问题，建立了小尺寸背面照射像素间的串扰物理模型，提出了一种应用于背照式像素的防串扰结构。该结构基于正面照射像素隔离原理，在相邻像素间器件层背面插入沟槽隔离区域。仿真结果显示，短波串扰构成了背照式像素中最为严重的串扰源；相邻像素经该结构优化后，可有效隔离背表面中短波串扰电荷；当沟槽深为3μm时，相邻像素串扰量可由32．73％降至8．76％；当沟槽深为4μm时，相邻像素可实现电学串扰的完全抑制。此外，量子效率也会因该结构的使用而得到相应改善。