【摘 要】
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根据高场非对称波形离子迁移谱（high-field asymmetric waveform ion mobility spectrometry,FAIMS）原理,设计了一种微型生化传感器.采用真空紫外灯离子源在大气压环境下对样品
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系,清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室
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根据高场非对称波形离子迁移谱（high-field asymmetric waveform ion mobility spectrometry,FAIMS）原理,设计了一种微型生化传感器.采用真空紫外灯离子源在大气压环境下对样品进行电离,紫外灯发射的光子能量为10.6 eV,波长116.5 nm.迁移区由上下两块紫铜金属平板电极构成,尺寸为10 mm×10 mm×1 mm.完成了高场非对称方波电源的设计,所输出的射频电压最大值为1 180 V,最小值为-480 V,频率189 kHz,
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