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为实现MEMS谐振器在周期运动过程中各个时刻的运动特性及其动态特性参数的纳米精度测量，提出了一种基于块匹配的最优根值亚像素运动估计测量方法．该方法在双线性插值细分技术基础上，将物体亚像素位移的定位转换为求解方程的最优根值的方式，通过最小均方差法获得物体运动位移的纳米级分辨力测量结果．该算法避免了传统算法中由于迭代所引起的大量运算．利用该算法对MEMS器件的运动历程做分析，得到特定驱动频率下MEMS器件的幅度-相位曲线．实验结果表明，采用该方法得到的平面位移测量分辨力为5nm．