【摘 要】
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2 实验结果和讨论rn2.1 阴极和沉积特性rn典型空心阴极I-V特性如图2所示,HC中有铜靶块并用氩气作为工作气体.在气流量和放电电流一定时,压强越低需放电电压越高.在给定真空室
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2 实验结果和讨论rn2.1 阴极和沉积特性rn典型空心阴极I-V特性如图2所示,HC中有铜靶块并用氩气作为工作气体.在气流量和放电电流一定时,压强越低需放电电压越高.在给定真空室压强情况下,两个不同气流量的I-V特性很接近,在一定电流下,较高的气流量电压略低一点(注:从图2看,原文“略高一点”——译者注),这是因为流量提高了HC内部的压强.
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