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采用热丝化学气相沉积技术制备了多晶硅薄膜。利用Raman、XRD、SEM等检测手段，系统研究了沉积气压、衬底温度、衬底与热丝间距离、衬底种类等实验参数对多晶硅薄膜晶态比、晶面择优取向、晶粒尺寸的影响。得出优化条件：沉积气压42Pa，衬底温度250℃，衬底与热丝间距离48mm，在玻璃衬底上制备出晶态比Xc〉90％，择优取向为（111），横向晶粒尺寸为200～500nm，纵向晶粒尺寸为30nm左右的优质多晶硅薄膜。