论文部分内容阅读
<正>随着科技的深入发展,半导体和微电子工业已经成为国民经济的支柱性产业。微电子工业的发展,除了设计、加工等本身技术的不断更新外,各种与之配套的材料的发展也有着十分重要的支撑作用。电子产品的轻量化、高性能化和多功能化使得其对高分子材料的要求也越来越高。聚酰亚胺(PI)是目前在半导体和微电子工业中应用最为广泛的高分子材料之一。PI是一类由酰亚胺环单体(如图1)组成的聚合物。其中芳香族结构PI的