液相法电沉积类金刚石薄膜的表面形貌研究

来源 :电子显微学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:honghongjiang
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采用脉冲直流电源.以甲醇有机溶液作为碳源,在常压60℃的条件下,采用电化学沉积方法在不锈钢表面制备了类金刚石碳薄膜。在电沉积过程中电流密度最高达到150mA/cm^2,沉积速度为500nm/h。用原子力显微镜和扫描电镜表征了薄膜的表面形貌,透射电镜和电子衍射谱表征了薄膜的结构。结果表明:沉积的类金刚石碳DLC膜是由均匀分布的球形纳米颗粒组成,粒度约为300nm~400nm,而且致密光滑;不锈钢上沉积的类金刚石薄膜,薄膜的生长是在基体表面划刻的边缘形核中心开始生长,并且生长先由基体的边缘向中心然后逐渐覆盖基
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