光学元件亚表层损伤检测和规律研究

来源 :西安工业大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：Xtce8145

【摘要】

：

为了分析光学元件的加工工艺与亚表层损伤的关系,验证亚表层损伤/表面粗糙度比例预测模型的正确性,探索一种能够快速检测亚表层损伤的方法.文中基于激光散射和共聚焦显微成像

【作者】

：

田爱玲党娟娟王春慧王红军刘丙才

【机构】

：

西安工业大学光电工程学院

【出处】

：

西安工业大学学报

【发表日期】

：

2011年1期

【关键词】

：

亚表层损伤表面粗糙度激光散射共聚焦成像 subsurface damage（SSD） surface roughness（SR） scattering c

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

为了分析光学元件的加工工艺与亚表层损伤的关系,验证亚表层损伤/表面粗糙度比例预测模型的正确性,探索一种能够快速检测亚表层损伤的方法.文中基于激光散射和共聚焦显微成像理论,分析了共聚焦显微系统测量亚表层损伤的可行性;对三种不同工艺加工的光学表面,利用OPTELICS S130五波长共聚焦显微镜获得光学表面亚表层损伤的三维立体图和纵向数据图,在TalySurf CCI上测量了光学表面的粗糙度,分析了加工过程中磨粒直径变化规律对表面粗糙度和亚表层损伤深度的影响,验证了亚表层损伤深度和表面粗糙度之间呈单调递增了的

其他文献

嵌入式Linux下指纹采集模块USB接口驱动程序的设计实现

介绍了嵌入式Linux系统下CMOS光电式指纹采集模块的USB接口驱动程序的设计和实现.概括了Linux系统下USB设备客户端驱动程序开发的一般过程,结合本指纹采集模块USB接口的硬件

期刊

嵌入式LINUXUSB接口驱动程序指纹采集模块CMOS传感器embedded LinuxUSB interfacefingerprint collect

检测爆炸物的分子印迹压电传感器研究

为了以低成本准确地检测爆炸物,设计了一种基于分子印迹技术的传感器.它用分子印迹技术制备的分子印迹聚合物作为传感器的识别元件,压电晶体作为转换元件,将识别元件固定到转

期刊

爆炸物探测分子印迹技术压电晶体传感器explosives detection molecularly imprinting technology pie

椭偏方法分析无氢DLC薄膜光学吸收特性

类金刚石（Diamond Like Coobon，DLc）薄膜在光学领域主要用做红外区高强度减反射光学薄膜，准确测定薄膜的消光系数走，是评价薄膜吸收特性的关键环节．考虑到DLc薄膜材料结构的复杂性，

期刊

DLC薄膜吸收损耗建模椭偏法diamond-like carbon films absorption loss modeling ellipsometr

选择与开发指向完成写作任务的教学内容

回回产卜爹仇贱回——回日E回。”。回祖一回“。回干肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》砧叫]们羽制作:陈恬’＃陈川个美食 Back to yield

期刊

写作任务核心知识策略性知识教学内容任务情境程序性知识学习支架

唐宋饮食遗风对现代日语文化的影响

在人类发展史上,存在众多决定人类存亡的要素,饮食就是关键的要素之一。每个国家由于地区差异与气候差异,形成的饮食文化也存在较大的差异。我国饮食文化较为繁盛的时期为唐

期刊

现代日语唐宋饮食文化文化遗风

60年一甲子,精彩依旧

中国传统纪年农历的干支纪年中一个循环的第1年称“甲子年”。以下各个公元年份,年份数除以60余4,或年份数除以10的余数是4,除以12的余数是4,自当年立春起至次年立春止的岁次内均为“甲子年”。而今年,可谓是祖国的甲子年。因而今年的十月,不同以往,想一下就快乐十足。　　先是60年建国大庆,举国欢腾的热烈气氛揭开金秋十月的序幕。而后紧接着就是赏月品蟹的中秋节,千里共婵娟的团圆感触将围绕在每个人的心田。

期刊

甲子干支纪年中国传统立春

光学元件亚表层损伤检测和规律研究

其他学术论文