【摘 要】
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采用计算机对真空排气工艺过程进行实时控制,执行排气工艺规程。用计算机控制技术细化工艺控制量,优化工艺过程,提高了工艺的一致性、稳定性和产品质量;程控系统设计合理,操
【机 构】
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中国工程物理研究院电子工程研究所 四川绵阳621900
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采用计算机对真空排气工艺过程进行实时控制,执行排气工艺规程。用计算机控制技术细化工艺控制量,优化工艺过程,提高了工艺的一致性、稳定性和产品质量;程控系统设计合理,操作简便,抗干扰能力强。
Using a computer vacuum evacuation process for real-time control, the implementation of exhaust technology procedures. Using computer control technology to refine the process control quantity, optimize the process, and improve the process consistency, stability and product quality; program-controlled system design is reasonable, easy to operate, anti-interference ability.
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