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在斐索干涉仪中测量光学平板受到多面反射光束的影响,而波长移相干涉技术是通过光源波长的改变来实现干涉信号的移相,原理上可以实现各个干涉信号的分离,在算法上要求能对多次谐波进行较好的抑制,加权多步移相算法可以实现这样的目的.笔者提出了加权多步移相算法的改进算法,可以提高算法对误差的抑制能力,最后用实验验证了改进算法的有效性.