【摘 要】
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半导体制造是“中国制造2025”战略发展的重点,高端半导体检测设备几乎被国外企业所垄断,制约着我国半导体制造的均衡发展.随着智能制造、物联网等新兴领域的快速发展,对半导
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半导体制造是“中国制造2025”战略发展的重点,高端半导体检测设备几乎被国外企业所垄断,制约着我国半导体制造的均衡发展.随着智能制造、物联网等新兴领域的快速发展,对半导体器件提出了更为集成化和多元化的要求,表面膜结构作为器件的基本单元,其复杂度和集成度也随之快速提升.对于表面膜结构的表面形貌和薄膜相关特性一直是半导体器件及工艺研发的核心测试内容,国外仪器公司推出了表面轮廓仪、椭偏仪和膜厚仪等仪器产品,已取得了很好的应用效果,并为了适应结构复杂度和集成度日益提高的需求,已在部署表面形貌和薄膜相关特性复合测量设备的研发工作,近年来市场上也已出现了少量类似的仪器.我国在现阶段开展表面膜结构三维光学测试仪的自主研发,可依托我国半导体制造先进工艺和新器件的研发进行特色化发展,对于在半导体高端检测设备领域摆脱被动局面、以点带动面实现跨越式发展具有重要的意义.
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