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研制成由硅温敏二极管和聚酰亚胺湿敏电容集成的温湿度传感器。介绍了它的工作原理，结构设计，制作工艺，测试结果以及为提高它的性能所作的一些研究。
一种新型温湿敏集成传感器研制
【摘 要】
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研制成由硅温敏二极管和聚酰亚胺湿敏电容集成的温湿度传感器。介绍了它的工作原理，结构设计，制作工艺，测试结果以及为提高它的性能所作的一些研究。
【机 构】
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厦门大学物理学系
【出 处】
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固体电子学研究与进展
【发表日期】
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1998年4期
【基金项目】
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福建省科技资助
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